1，真空：是指在给定空间内压力低于当地大气压力的稀薄气体状态；
2，真空度：处于真空状态下的气体稀薄，可以用负压或绝对压力表示，常用单位有:Torr、Pa、mbar；
3，极限真空：是指真空泵能达到的最大真空度，真空泵铭牌标注极限真空；
4，有效真空：指客户在生产过程中真正运行的真空度，也称运行真空，选取真空泵时，有效真空应比
极限真空低出两个数量级；
5，抽气速率：在一定的压强和温度下，单位时间内由泵进气口处抽走的气体称为抽气速率，简称抽速，
抽速分为进气抽速和标准抽速，铭牌上标注的是进气抽速，单位: m³/h,m³/min;
6，流导：表示真空管道通过气体的能力，在稳定状态下，管道流导等于管道流量除以管道两端压强差，
单位为:(L/s)。
7，漏率：真空系统漏率是指在规定条件下，一种特定气体通过漏孔的流量，单位:Pa·L/s。
